在電子制造領域,對工藝化學品的純度和穩(wěn)定性要求極為嚴苛。秒準MAYZUM推出了電子級雙氧水(H?O?)的精密濃度監(jiān)測技術。憑借穩(wěn)定性、精確性和可靠性,該技術成功解決了長期困擾行業(yè)的監(jiān)測難題,贏得了國內(nèi)外多家領先半導體及平板顯示制造企業(yè)的一致好評,并得到了廣泛應用。
電子級雙氧水是芯片和顯示屏制造中至關重要的清洗劑和蝕刻劑。其濃度的微小偏差直接影響到晶圓表面的清洗效果、刻蝕速率乃至產(chǎn)品的良率。傳統(tǒng)的人工取樣離線檢測方式存在滯后性強、易引入污染、勞動強度大等固有缺陷,無法滿足現(xiàn)代智能制造對實時、連續(xù)、無污染的苛刻要求。行業(yè)亟需一種能夠嵌入生產(chǎn)線、進行原位精準監(jiān)測的解決方案。
秒準MAYZUM MAY-3001F-H?O?在線濃度計已成功應用于多條電子級雙氧水生產(chǎn)線及用戶端投料點。來自多家**芯片制造廠和面板廠的反饋表明:
“實現(xiàn)了濃度的‘零延遲’管控,產(chǎn)品良率得到顯著且穩(wěn)定的提升。”
“徹底告別了人工取樣帶來的污染風險和誤差,數(shù)據(jù)可靠性倍增,符合嚴苛的品質(zhì)追溯要求。”
“其出色的穩(wěn)定性和極低的維護需求,為我們的連續(xù)化生產(chǎn)提供了堅實保障,綜合效益遠超預期。”
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